Tech war: Chinese researchers claim breakthrough in lithography materials | 科技战:中方科研人员宣布光刻材料取得突破

中国科研团队在光刻技术方面取得重要突破,有助于实现芯片制造的自主可控。来自北京大学的科学家们与合作伙伴共同研究,成功实现了光刻胶(光敏材料)分子行为的可视化,这一成果发表在顶级科学期刊《自然》上。

光刻胶在芯片制造中起着关键作用,广泛应用于光刻和蚀刻等工艺,形成芯片上的图案。中国目前依赖进口光刻胶材料,这限制了其先进芯片的生产能力。此次突破有望显著降低制造缺陷,解决7纳米及以下工艺中的关键瓶颈,从而推动中国芯片产业的自主发展。

科学家们指出,尽管经过数十年的研究,光刻胶在液膜和界面上的微观行为仍难以完全掌握,这导致缺陷控制主要依靠试错。此次研究的成功为解决这一难题提供了新的技术基础,有助于提升芯片生产的良品率和自主创新能力。

via SCMP Full Text Feed
 
 
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