Could China’s ion implanter ‘scalpel’ carve out secure hi-tech chip supply chains? | 中国的离子注入器“手术刀”能否打造安全的高科技芯片供应链？

中国原子能科学研究院宣布成功开发了国内首台高能氢离子注入机——POWER-750H。这一设备被誉为“微观手术刀”，在芯片制造中具有关键作用，有助于打破我国在关键供应链上的瓶颈。该设备的性能达到了国际先进水平，标志着中国在半导体制造设备方面取得重大突破。

离子注入机是半导体生产中重要的核心设备，用于加速离子并嵌入硅片中。此前，中国一直依赖进口此类设备，受到外国技术壁垒和市场垄断限制。此次研发成功，得益于中国在核物理和加速器技术方面的丰富经验，采用串联加速器技术实现自主设计，增强了中国在半导体行业的自主可控能力。

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