Start-up unveils prototype ‘heart’ of EUV lithography amid China chipmaking push | 中国力推芯片制造之际，初创公司发布EUV光刻机“心脏”原型

总部位于上海的朗道赛莱克斯（Langdao Silex）展示了自主研发的EUV（极紫外）光源系统，这被视为中国芯片自主化进程中的关键一步。EUV光源是制造先进制程芯片所需光刻设备的核心部件，长期以来主要由少数国外企业掌握。

EUV光刻技术是生产7纳米及以下先进芯片的关键，而光源系统被普遍认为是EUV光刻机中最难攻克的部分之一。此次国产EUV光源系统的亮相，意味着中国企业在这一核心环节取得了阶段性进展。

这一成果也反映出中国推动半导体产业链自主可控的战略方向。在芯片设备出口管制持续的背景下，国内企业正加快在核心设备领域的研发突破，以降低对外部供应链的依赖。

via South China Morning Post